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| 品牌Mlase | 有效期至长期有效 | 最后更新2025-11-19 11:07 |
| 激光波长193nm | ||
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德国 Mlase MLI-ARF-200 型准分子激光器，509265-01
公司简介
德国 Mlase 专注激光设备研发生产，产品覆盖工业加工、科研用激光器，适配精密制造与科学研究领域，提供稳定的激光技术解决方案。
产品简介
Mlase MLI-ARF-200 型准分子激光器，输出特定波长紫外激光，具备稳定脉冲能量与高重复频率，适配精密加工与科研场景，操作便捷且维护成本可控。
详细介绍
（一）核心技术原理
该激光器基于准分子激发原理，通过惰性气体与卤素气体混合放电，产生波长 193nm 的深紫外激光（ArF 准分子激光特性）。激光输出采用脉冲模式，脉冲宽度可精准控制，能在材料表面实现 “冷加工” 效果 —— 仅作用于材料表层，不产生明显热影响区，避免加工过程中材料变形或性能改变，适配对加工精度要求高的场景。
（二）性能与结构优势
性能方面，脉冲能量稳定（波动范围小，具体见技术参数），可长时间连续输出，保障批量加工或持续实验的一致性；重复频率覆盖多档调节，能根据加工效率或实验需求灵活切换，平衡精度与速度。结构设计上，采用模块化光路布局，核心部件密封保护，减少外界灰尘、温湿度对光路的干扰；设备集成智能控制系统，支持参数实时监控与异常报警，操作人员通过触控屏即可完成参数设置，无需复杂专业操作；冷却系统采用水冷与风冷结合设计，适配不同使用环境，确保设备长期运行时温度稳定。
（三）使用安全与维护
安全设计上，配备激光安全联锁装置，当设备门体未关闭或安全区域有人员进入时，自动切断激光输出，符合激光安全标准；外壳设有散热孔与防护涂层，避免设备运行时高温对周边环境影响。维护方面，核心部件使用寿命长（具体见技术参数），日常仅需定期清洁光学镜片、检查气体纯度，无需频繁更换关键组件，降低长期使用成本；品牌提供标准化维护指南，配合本地服务支持，进一步简化运维流程。
技术参数
| 型号 | MLI-ARF-200 |
| 产品类型 | ArF 准分子激光器（深紫外波段） |
| 核心性能参数 |
激光波长：193nm（深紫外波段） 脉冲能量：≥200mJ（额定工况） 脉冲宽度：10-30ns（可调节） 重复频率：1-50Hz（多档可调） 光束质量（M²）：≤1.2（近衍射极限） 光斑尺寸：10×10mm-50×50mm（可通过光学系统调节） 能量稳定性：≤±2%（连续工作 8 小时内） |
| 结构与运行参数 |
工作气体：Ar/F₂/He 混合气体（标准配比） 冷却方式：水冷（水温控制精度 ±0.5℃）+ 辅助风冷 供电要求：380V AC/50Hz，最大功率 15kW 激光安全等级：Class IV（需配套安全防护措施） 核心部件寿命：≥10⁹次脉冲（常规工况） |
应用场景
精密制造领域
用于半导体芯片的光刻辅助加工、微电子元件的精细刻蚀，193nm 深紫外激光可实现微米级甚至纳米级加工精度，适配芯片封装、传感器制造等场景，保障元件结构的精细度与稳定性。
材料科学研究
在高校、科研机构的材料表面改性实验中，通过激光照射改变金属、聚合物等材料的表层性能（如硬度、耐磨性）；或用于薄膜材料的制备研究，为新材料研发提供稳定的激光光源支持。
医疗设备制造
用于医用导管、植入式医疗器械的表面纹理加工，通过精准激光刻蚀提升器械表面生物相容性，适配心血管支架、微创器械等高精度医疗产品的制造，满足医疗领域对加工精度与安全性的要求。
光学元件加工
对光学镜片、光栅等元件进行精密打标或微结构加工，193nm 激光可在光学材料表面形成高精度图案，且不影响材料内部光学性能，适配光学仪器、激光设备的核心元件制造。
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