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德国 Mlase MLI 1000 krf LC 型准分子激光器,512397-00

    

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品牌Mlase 有效期至长期有效 最后更新2025-11-19 10:59
激光波长248nm
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德国 Mlase MLI 1000 krf LC 型准分子激光器,512397-00

 

公司简介

德国 Mlase 专注激光设备研发生产,产品涵盖工业与科研用激光器,适配精密加工、材料研究等领域,提供稳定的激光技术支持方案。

产品简介

Mlase MLI 1000 krf LC 型准分子激光器,输出 248nm KrF 波段激光,具备高脉冲能量与稳定运行性能,适配中高功率加工与科研场景,操作维护便捷。

详细介绍

(一)核心技术原理

该激光器基于 Krf 准分子激发技术,通过氪气与氟气混合气体放电,产生 248nm 紫外波段激光。采用脉冲式输出设计,脉冲宽度可根据需求调节,能实现材料 “冷加工”—— 激光能量集中作用于材料表层,热影响区控制在微米级以内,避免材料因高温出现变形、性能衰减等问题,适配对加工质量要求高的场景。

(二)性能与结构优势

性能上,脉冲能量可达 10mJ(额定工况),满足中高功率加工需求;重复频率支持 1000Hz 多档调节,可平衡加工效率与精度,适配批量生产或精细实验场景;能量稳定性控制在较小范围(具体见技术参数),保障长时间运行的一致性。结构设计采用模块化光路封装,核心光学部件密封保护,减少灰尘、温湿度变化对光路的干扰;集成智能触控系统,可实时监控激光参数、气体浓度等关键指标,异常时自动报警,操作人员无需专业技能即可完成参数设置;冷却系统采用高效水冷设计,配合温度反馈调节,确保设备运行时温度稳定在合理区间。

(三)使用安全与维护

安全方面,配备激光安全联锁装置,设备门体未闭合或安全区域有人员靠近时,自动切断激光输出,符合国际激光安全标准;外壳采用阻燃材质,设有散热通道,避免设备运行时高温对周边环境造成影响。维护上,核心部件寿命较长(具体见技术参数),日常仅需定期清洁光学镜片、补充混合气体,无需频繁更换关键组件;品牌提供标准化维护手册,配合技术支持,降低运维难度与成本。

技术参数

型号 MLI 1000 krf LC
产品类型 Krf 准分子激光器(紫外波段)
核心性能参数

激光波长:248nm(紫外波段)

脉冲能量:≥10mJ(额定工况)

脉冲宽度:20-50ns(可调节)

重复频率:1000Hz(多档可调)

光束质量(M²):≤1.5

光斑尺寸:6x3mm(可通过光学系统调节)

能量稳定性:≤±3%(连续工作 8 小时内)

结构与运行参数

工作气体:Kr/F₂/He 混合气体(标准配比)

冷却方式:水冷(水温控制精度 ±0.3℃)

供电要求:380V AC/50Hz,最大功率 25kW

激光安全等级:Class IV(需配套安全防护措施)

核心部件寿命:≥5×10⁸次脉冲(常规工况)

适配标准:符合 IEC 60825-1 激光安全标准;符合 CE 认证要求

德国 Mlase MLI 1000 krf LC 型准分子激光器
应用场景

工业精密加工

用于金属、陶瓷等硬质材料的深孔钻、微结构刻蚀,248nm 激光可实现高精度加工,适配航空航天零部件、汽车精密元件的制造,保障产品尺寸精度与表面质量。

材料科学研究

在高校、科研机构的材料改性实验中,通过激光照射改变聚合物、复合材料的表层性能(如附着力、耐腐蚀性);或用于薄膜沉积研究,为新型功能材料研发提供稳定的高能量激光光源。

医疗与生物领域

用于医用高分子材料的表面纹理加工,提升材料生物相容性,适配人工关节、医用支架等产品制造;也可用于生物组织的精准切割实验,为医疗技术研发提供支持。

半导体与电子领域

用于半导体晶圆的光刻辅助工艺、电子元件的封装打标,248nm 激光可实现精细加工,适配芯片制造、传感器生产等场景,保障电子元件的性能稳定性。

徐豪杰
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