德国 Mlase MLI-500 KrF 型准分子激光器

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二、产品简介​

Mlase MLI-500 KrF 型准分子激光器，输出 248nm 波长激光，脉冲能量 500mJ，适配材料刻蚀、科研测试等中能量需求场景。​

三、详细介绍​

Mlase MLI-500 KrF 型准分子激光器以 “中能量激光应用”“稳定加工适配” 为核心设计方向，可满足材料表面刻蚀、薄膜制备、科研实验等场景的激光需求，覆盖电子元件制造、新材料研发、光学加工等领域。该激光器采用紧凑型模块化结构，占地面积约 1.0㎡，支持地面固定式安装，无需复杂地基改造，仅需根据应用场景调整激光输出光路（如搭配聚焦镜、偏转镜），即可快速接入生产线或实验平台，降低激光系统部署难度，尤其适配空间有限的中小型车间与实验室。​

从激光性能来看，激光器输出波长为 248nm（KrF 准分子激光），属于紫外波段，光子能量约 5.0eV，可实现多种材料（如聚合物、金属薄膜、陶瓷）的精准刻蚀与改性，适配电子元件的微结构加工、光学薄膜的图案化制备等场景；脉冲能量可达 500mJ，脉冲宽度 8-25ns 可调，能根据材料特性灵活调整能量密度，避免过度加工导致材料开裂或性能受损；激光光束质量因子 M²≤1.3，光斑均匀性≥88%（20mm×20mm 光斑范围），确保加工区域能量分布一致，提升加工精度与成品率。相比同类型低能量激光器，其脉冲重复频率可达 80Hz，能提升中批量加工效率，适配电子元件的规模化生产需求；同时具备实时能量监测功能，输出能量偏差超过 ±3% 时自动校准，保障长期运行稳定性。​

材质与耐用性方面，激光器核心放电模块采用高强度合金材质，内部电极经过抗氧化涂层处理，使用寿命可达 800 万脉冲以上，减少核心部件更换频率与成本；光学元件选用高透过率紫外熔融石英材质，表面镀膜采用多层抗反射设计，抗激光损伤阈值≥1.8J/cm²，避免长期使用导致的光学性能衰减；冷却系统采用闭环水冷设计，水温控制精度 ±0.3℃，可快速带走核心部件热量，避免温度波动影响激光输出参数；设备外壳采用冷轧钢板喷塑处理，防护等级达 IP42，可防粉尘与垂直滴水，适配工业车间与实验室的常规环境，延长设备使用寿命。​

操作与维护方面，激光器配备中文触控操作面板与远程控制软件（支持电脑 / 平板连接），可直观设置脉冲能量、频率等参数，实时显示设备运行状态与故障提示，操作门槛低；日常维护仅需每 4 个月清洁一次光学元件表面、检查冷却系统水质与管路密封性、更换空气过滤器，无需专业人员拆解核心模块；若出现故障，设备会显示明确故障代码（如 “E202” 表示光学元件污染），便于快速定位问题，维护耗时通常≤1.5 小时，降低生产与实验中断成本，适配连续运行需求。​

四、技术参数​

型号：MLI-500 KrF​

产品类型：KrF 准分子激光器​

输出波长：248nm​

脉冲能量：最大 500mJ（10Hz 重复频率下）​

脉冲宽度：8-25ns（可调）​

脉冲重复频率：1-80Hz（可调）​

光束质量：M²≤1.3​

光斑均匀性：≥88%（20mm×20mm 光斑范围）​

能量稳定性：±3%（连续运行 8 小时）​

激光输出方式：自由空间输出（标配 2 组光学转向镜）​

冷却方式：闭环水冷（水温 22-26℃，流量 4L/min）​

工作环境​

环境温度：18-32℃​

相对湿度：25%-75% RH（无冷凝）​

电源要求：380V AC，50/60Hz，最大功耗 12kW​

使用寿命：核心部件（放电模块）≥800 万脉冲​

控制接口：Ethernet、RS485、USB​

 

五、应用场景​

电子元件制造领域：用于柔性电路板（FPC）的精细刻蚀，248nm 激光可在聚合物基材上实现微米级线路加工，适配柔性电子设备的元件生产。​

光学加工领域：应用于光学透镜的表面微结构制备（如菲涅尔透镜），高均匀性光斑确保微结构尺寸一致性，提升光学元件成像质量。​

新材料研发领域：安装于高校与科研机构实验室，用于研究聚合物、金属氧化物在紫外激光下的降解、交联反应，适配功能材料研发实验。​

汽车电子领域：用于汽车传感器外壳的精密开孔与刻蚀，激光可在陶瓷、塑料外壳上实现高精度加工，保障传感器信号传输稳定性。​

医疗耗材领域：适配医用微流控芯片的通道加工，248nm 激光可在玻璃或聚合物芯片上刻蚀微米级通道，满足生物样本检测的流体控制需求。​