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| 品牌Carl Zeiss | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-03 14:27 |
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德国 Carl Zeiss Crossbeam 550型双束纤维扫描电镜
公司简介
德国蔡司（Carl Zeiss）在光学与显微技术领域拥有长期技术积累，提供从显微镜到成像分析系统的完整解决方案。
产品简介
Crossbeam 550为聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM），将Gemini 2场发射扫描电镜与Ion-sculptor聚焦离子束结合于一体。支持高分辨成像、精准离子束切割及TEM薄片制备，适用于材料科学与生命科学领域。
详细介绍
Crossbeam 550是蔡司FIB-SEM产品线中的型号，专为需要高分辨率成像与精准样品制备的分析工作流设计。该设备整合了两套核心系统：Gemini 2电子光学系统与Ion-sculptor聚焦离子束镜筒。
Gemini 2电子光学系统采用双聚光镜设计，可实现高效的信号生成与稳定的成像条件。二次电子分辨率在15kV条件下可达0.9nm，1kV条件下为1.6nm，支持低电压成像，适用于对电子束敏感的样品表面特征观察。电子束加速电压调节范围为0.02-30kV，束流10pA-40nA，放大倍数最高达2,000,000倍。
Ion-sculptor聚焦离子束镜筒配备镓离子源（Ga+ LMIS），加速电压500V-30kV，探针电流1pA-100nA，离子束分辨率在30kV条件下≤3nm。该系统支持快速材料去除与低能量精细加工，可在保持表面及亚表面完整性的同时完成精准切割。
该设备支持在离子束切割过程中进行同步SEM实时成像，便于操作人员监控加工进度并控制终点位置。应用范围涵盖TEM薄片制备、三维断层扫描（3D tomography）及微纳加工等场景。针对半导体实验室的高通量需求，蔡司推出Crossbeam 550 Samplefab版本，支持无人值守自动化TEM样品制备，可在8小时内自动制备10个薄片，自动化效率超过90%。
技术参数
| 二次电子分辨率 | 0.9nm@15kV；1.6nm@1kV |
| 电子束加速电压 | 0.02-30kV（10V步长） |
| 电子束束流 | 10pA-40nA |
| 离子束分辨率 | ≤3nm@30kV |
| 离子束加速电压 | 500V-30kV（10V步长） |
| 离子束束流 | 1pA-100nA |
| 离子源寿命 | ≥1500小时 |
| 探测器系统 | In-lens SE、ET-SE、能量选择BSE |
| 可选配件 | 冷冻台、气体注入系统（Pt、C）、EDS能谱 |
应用行业
材料科学：金属、聚合物、陶瓷等多相材料的截面制备与结构分析
半导体与电子元件：先进封装失效分析、埋层结构观察、TEM薄片自动化制备
生命科学：细胞与组织的三维超微结构重构、冷冻FIB-SEM成像
薄膜与纳米材料：低电压成像与低能量FIB加工，保留精细结构细节
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