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| 品牌Piezoconcept | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-07-02 16:41 |
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法国 Piezoconcept HS1.30µm 压电纳米定位器，带控制器模拟+USB
公司简介
法国 Piezoconcept 专注压电纳米运动设备研发制造，配套闭环传感与驱动控制系统，适配科研光学、半导体微加工精密定位场景。
产品简介
HS1.30 为单轴紧凑型压电定位台，具备30μm有效运动行程，内置硅基高分辨率传感器，搭配柔性铰链无间隙结构，定位精度高、响应速度快，专为显微光路、纳米扫描等高精度微动作业场景设计。
详细介绍
法国Piezoconcept HS1.30µm纳米精密定位器采用压电陶瓷直驱技术，搭配一体化柔性铰链结构，无机械传动间隙，消除回程误差，保障纳米级定位精度。设备搭载Si-HR硅基高分辨率闭环位移传感器，本底噪声极低、线性度优异，重复定位偏差小，长时间连续扫描作业零位漂移可控，运行稳定性强。台体预留33mm中心通光孔径，全程无光路遮挡，适配透射式显微成像设备集成需求。整机采用铝合金材质，体积紧凑、结构轻巧，可单轴独立使用，也可多台叠加搭建二维、三维复合定位系统，适配多样设备布局。产品谐振频率高达4000Hz，响应速度快，支持高频动态扫描，具备水平、垂直双工况承载能力。标配2米屏蔽信号线，兼容模拟、数字信号，可对接专用压电控制器。设备无机械磨损，无需日常润滑维护，适配长期循环作业，适用于科研设备新装配套及老旧压电位移台替换升级。
核心技术参数
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产品型号
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HS1.30µm
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有效运动行程
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30μm
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内置传感
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Si-HR 硅基闭环传感器
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定位分辨率
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0.03nm
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典型本底噪声
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0.003nm
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全量程重复性
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0.06nm
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线性度
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0.02%
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谐振频率
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4000Hz
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结构孔径
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中心33mm通光孔
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台体材质
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铝合金
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外形尺寸
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62.5×69.5×12.6mm
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负载能力
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水平1kg，垂直0.5kg
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标配线缆
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2m屏蔽信号线
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应用场景
光学显微设备适配超分辨显微镜、原子力显微镜，实现载物台纳米级扫描成像，保障光路对焦位移精准稳定。
光子与光镊实验平台完成光束动态对准、微观粒子捕获精密位移调节，满足光学实验高精度调控需求。
半导体检测设备应用于晶圆微探针台，实现微小位移校准、芯片形貌精密扫描，适配半导体精密检测工况。
纳米计量与干涉测量系统负责光路微调与精密位移标定，支撑高精度计量检测工作。设备体积小巧、带通光结构，适配各类光学精密设备集成，可满足实验室科研设备配套及老旧压电定位台替换升级需求。
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